a.要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)設(shè)備，尤其須注意活動(dòng)部分之發(fā)塵。

 
b.應(yīng)選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設(shè)備或接口設(shè)備。
 
c.生產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因，故應(yīng)配備過濾裝置。
 
d.規(guī)劃各設(shè)備之配置空間時(shí)，事先宜考慮不易積累微塵之結(jié)構(gòu)，規(guī)劃各并以容易清潔為原則。
 
e.真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類設(shè)備，應(yīng)設(shè)置在無塵室外面或回風(fēng)區(qū)，并加裝排氣管線排氣。
 
f.設(shè)置給水管線、氣體管線和電氣系統(tǒng)時(shí)，其構(gòu)造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。
 
g.生產(chǎn)及相關(guān)設(shè)備應(yīng)定期清掃，以避免微塵之堆積。
 
h.應(yīng)加強(qiáng)注意室內(nèi)的溫濕度控制，避免因濕度之不當(dāng)造成結(jié)露生銹。
 
i.當(dāng)設(shè)備維修時(shí)易產(chǎn)生微塵粒子，故維修時(shí)盡量于清潔室外進(jìn)行，并加隔離柵隔離。
 
j.對(duì)于施工或維修之廠商，應(yīng)告知進(jìn)出無塵室之各項(xiàng)規(guī)定，且負(fù)責(zé)工程師應(yīng)隨侍在側(cè)監(jiān)工。
 
k.應(yīng)有無塵室專用工具組，但不得帶出無塵室外使用。
 
l.規(guī)劃空間時(shí)若能臨近無塵室設(shè)立一間維修和設(shè)備保養(yǎng)手冊(cè)置放室，將是一理想之規(guī)劃。